Studie über die Verarbeitung von Glaskeramik durch abrasive Polieren mit Konsolidierung
Fanyu
Chinamirrormanufacturer .com
2017-10-12 17:14:28
Glass-Keramik ist eine Art guter strukturellen Material, das gute mechanische Eigenschaften und hohe Temperaturen chemischer Stabilität hat, wodurch die breite Aufmerksamkeit der Menschen erregt. In den letzten Jahren, mit der rasanten Entwicklung der Computertechnologie auf dem externen Speicher von Computern, als Festplatte Substrat neue Werkstoffe von Glaskeramik in der Entwicklung des Computers bevorzugt. Durch die Kristallisation von microkristallline Glas und die Struktur und chemische Zusammensetzung der Glas-Phase, die Mikro-hart ist sehr hoch, die traditionelle Verarbeitung Methode ist schwierig, die glatte Oberfläche von Submikron verarbeiten, so dass chemische mechanische Polieren (CMP) wird die einzige wirksame Technologie für die Verarbeitung von Glas-Keramik. Daher ist es möglich, den Prozess der Polieren von Glas-Keramik mit Konsolidierung abrasive Polieren Pad, die eine Grundlage für die Entwicklung der Ultra-Präzisions-Glas-Keramik-Technologie.
Processing-Methode von microcrystalline Glass
Gegenwärtig, im in-und Ausland, nach dem Micro-Kristall-Glas Spezial-Mikro-Struktur und Leistungsmerkmale, die Oberfläche seiner Präzision und Ultra-Präzision Schleifen Prozess, um die Nano-Level-Oberfläche Qualität und flach zu erreichen. Die Studie der Han-Rongju von Changchun Optical Machine von CAS zeigt, dass die Körnung von microkristalline Glas etwa 30 ~ 40 ist. Um die Beseitigung ihrer atomaren Gewichts-Ebene zu erreichen, müssen Sie daher die Ultra-glatte Oberfläche auf der Nano-Ebene Polieren. Die Oberflächen-Atome von microkristalline Glas werden aus dem Werkstück-Körper unter den Auswirkungen der abrasiven Teilchen entfernt. Der Prozess der Atom-Entfernung ist die Kollision, Diffusion und Füllung der Schleifmittel und das Werkstück auf der atomaren Ebene. Das Mahlen und Polieren ist daher der wichtigste Prozess der Verarbeitung von microkristallline Glas in diesem Stadium.
Studie über den Prozess der Schleifen und Polieren von Glas-Keramik durch Konsolidierung abrasive Veredelung
1. Polieren der Experiment-Einstellung
1,1 polnische Plattform
Schleifen und Polieren von Tests in der PHL-350-Typ Plane High-Speed-Schleifen-Polieren-System, um die Flatness der Schleifmaschine zu verbessern, reduzieren Sie den Verhalten Fehler, in der Regel im Prozess vor dem Schleifen Scheibe 22 gegenseitige Forschung, und die Klinge Lineal, um die flache der Schleifmaschine zu überprüfen, um sicherzustellen, dass die Oberfläche Qualität des maschinell bearbeitet Werkstück.
1,2, Polieren Pad
Das polnische Pad hat die Funktionen, die polnische Flüssigkeit im CMP-Prozess zu speichern und Sie in den gesamten Bereich des Werkstück zu transportieren, die mechanische und chemische Umgebung beizubehalten, die für das Polieren und die Übertragung des Materials erforderlich ist, um die mechanische Belastung zu entfernen, usw. [1]. Daher ist es von großer Bedeutung, die W14 von Diamond hydrophile zu verwenden, um eine qualitativ hochwertige und kostengünstige CMP-Verarbeitung zu erzielen.
1,3, Polieren Flüssigkeit
Die Verwendung von dereinen Wasser und anderen chemischen Zusätzen als Polieren Flüssigkeiten, die Behandlung der polnischen Gülle und ausgesetzt Partikel in traditionellem freien abrasiven Polieren und die Änderung des pH-Wertes führen zu Instabilität und Niederschlag der abrasiven Körner, das vereinfacht die Behandlung der polnischen Abfälle in der traditionellen freien Schleifmittel und hat die Eigenschaften des grünen Umweltschutz [2]. Die polnische Lösung, die in diesem Experiment verwendet wird, ist nur ein dereines Wasser.
2, Druck p, Drehzahl Ω 1, Offset e Änderungen der Oberflächen-Qualität des Werkstück-Effekts
2,1 Oberflächen-Qualität
Die Oberflächen-Qualität von maschinell Werkstücken ist ein weiterer wichtiger Index für die Beurteilung der Leistung von der Verarbeitung von Fischerei-, einschließlich der flachen Oberfläche der dreidimensionalen Konturen des Werkstück-Oberflächen-Rauheit SA, RA und Werkstück. Die dreidimensionale Contour Surface Rauheit SA, RA und lokale Flatness PV werden durch das Ademicroxam-System gemessen, der Messbereich ist 868 μmx646μm, Sweep depth ist 50nm, und die Vergrößerung ist 5 x 2.0.
2,2, der Effekt von Druck p Change on Sa, RA
der Druck p ist 0,05 MPa, 0,075 MPa, 0,1 MPa, die anderen Parameter lauten wie folgt: ω1 = 150rpm, e = 70 mm, Schleifen von microkristalline Glas, jedes Stück Schleifen Zeit ist 10 min. Vor und nach dem Schleifen mit Alkohol, um die Oberfläche zu reinigen, nach dem Trocknen bzw. in der Mitte, Mitte und Kante des Werkstück 3 Standorte, um 2 Messen, um seine SA und RA zu messen, nehmen Sie den Durchschnitt, berechnen die Standardabweichung, Analyse von 3 Arten von Druck-Schleifen Glas-Keramik an verschiedenen Standorten der Oberflächen-Rauheit Vergleich Ergebnisse, Kann gesehen werden: 1 der Druck ändert sich auf die Rauheit der Glas-Keramik Schleifen, zu viel Druck ist nicht förderlich für die Verbesserung der Oberfläche Qualität der polierten Glas-Keramik. 2 die Kante Position des Mikro-Kristall-Glas nach der Verarbeitung ist besser als die der mittleren und mittleren Position, und der Druck sollte nicht zu hoch sein, wenn die Glaskeramik von der konsolidierten Schleifmittel verarbeitet werden.
2,3, die Auswirkung der Änderung der Drehzahl ω1 auf SA und RA
Wählen Sie die Rotations-ω1 für 100rpm, 150rpm,/min, andere Verarbeitungs-Parameter sind wie folgt: =. 075Mpa, e = 70 mm, Schleifen von microkristalline Glas, jedes Stück Schleifen Zeit ist 10 min. Vor und nach dem Schleifen mit Alkohol, um die Oberfläche zu reinigen, nach dem Trocknen bzw. in der Mitte, Mitte und Kante des Werkstück 3 Standorte, um 2 Messen, um seine SA und RA zu messen, der Durchschnittswert, die Berechnung der Standardabweichung, Analyse von 3 Arten von Schleifen Glas an verschiedenen Standorten unter der Oberfläche Rauheit Kontrast Ergebnisse, Es kann gesehen werden: 1 die Auswirkung der Drehzahl auf den Rauheit der Glaskeramik zeigt normale Verteilung, und die korrekte Drehzahl ist günstigen, um die Rauheit der Glaskeramik zu stabilisieren. 2 die Kante Position des groben Glases nach der Verarbeitung ist offensichtlich besser als die der Mitte und Mitte.
2,4, der Einfluss der Veränderung der Bedeutung E on Sa, RA
Wählen Sie die unweite Entfernung von e 50 mm, 70 mm, 90 km, und andere Verarbeitung Parameter sind wie folgt: =. 075Mpa, ω1 = 150rpm, Schleifen von microkristallline Glas, jedes Stück Schleifen Zeit für die 10 min. Vor und nach dem Schleifen mit Alkohol zur Reinigung der Oberfläche, Trocknung beziehungsweise, in der Mitte des Werkstück, die mittlere und Kante 3 Standorten nehmen 2 Messen, um Ihre SA und RA zu messen, durchschnittlich, berechnen Standardabweichung, Analysieren der Vergleich Ergebnisse der Rauheit der Oberflächen an verschiedenen Positionen von 3 Arten von Glas-Keramik unter unweiter Strecke, es kann gesehen werden, dass: 1 Zunahme der Empfindlichkeit, Schleifen-Geschwindigkeit steigt, Eine höhere Genauigkeit der Oberflächen kann erreicht werden. 2 die Rauheit der Oberfläche des marginalen Teils ist niedriger als die mittlere und mittlere.
2,5 Analyse des Einflusses der Prozessparameter auf die Qualität der Oberflächen
Die Ergebnisse des obigen Vergleichs zeigen, dass die Oberflächen-Qualität der Glaskeramik besser ist als die traditionelle verarbeitende Methode. Verglichen mit der SA, RA und PV-Werte, die aus verschiedenen Druck, Rotations-Geschwindigkeit und unweite Entfernung, die wichtigsten technologischen Parameter wie Druck, Rotations-Geschwindigkeit und die verrückte sind angemessen nach den Anforderungen an die Verarbeitung ausgewählt.
III. Morphologie von Glaskeramik nach Schleifen und Verarbeitung
Die folgende Abbildung ist die Morphologie der Oberfläche der Glaskeramik nach der Maschine durch eine konsolidierte Schleifmittel nach einer 1500 Mal gefaltet Beobachtung des Werkzeugs Mikroskop, es kann gesehen werden, dass die Oberfläche des Schleifen fast alle unregelmäßigen Gruben, aber keine Kratzer, was bedeutet, dass das Glas in den Prozess der Schleifen der materiellen Entfernung ist vor allem spröde Entfernung, anstatt Kunststoff-Entfernung, Es zeigt auch, dass microkristallline Glas zu spröde und Hard Material gehört, seine Struktur gehört zu polykristalline, so ist es geeignet, die Art der Konsolidierung abrasive Schleifen zu verabschieden.
IV. Zusammenfassung
MikrokristallineGlasMit guten physikalischen Eigenschaften sind weit verbreitet in verschiedenen Bereichen, so dass die Studie von microcrystalline Glas ist von großer Bedeutung. Daher ist die in diesem Papier wurden die Prozess-Forschung der Glaskeramik mit der Konsolidierung abrasiven Polieren, und studierte die Technologie und technologische Parameter der Glas-Keramik durch die Methode der experimentellen und theoretischen Analyse, um das Problem der herkömmlichen Verarbeitung Methode der Materialien zu lösen [3]. Die Arbeit und Forschungsergebnisse dieses Papiers sind wie folgt zusammengefasst:
(1) die Entwicklung von Glas-Keramik, Struktur Zusammensetzung und die Forschungsergebnisse von Glas-Keramik im in-und Ausland werden analysiert, und die Aussichten und das Potenzial von Glas-Keramik als neue Art von Materialien werden diskutiert.
(2) die Prozesstechnik und die wichtigsten technologischen Parameter der durch die Konsolidierung abrasiven Polieren verarbeiteten Glaskeramik wurden mittels Experiment untersucht. die Schlussfolgerungen des Forschungsinstitut sind wie folgt: Druck, Drehzahl, ausgefallene Distanz sind die wichtigsten Verarbeitungs-Parameter der durch Konsolidierung abrasive verarbeiteten Glaskeramik, und die Änderungen dieser Parameter wirken sich auf die Qualität der Oberflächen aus und sollten die Anforderungen an die Verarbeitung erfüllen. Anforderungen an die Genauigkeit und die wirtschaftlichen Anforderungen, um vernünftig zu wählen.
Processing-Methode von microcrystalline Glass
Gegenwärtig, im in-und Ausland, nach dem Micro-Kristall-Glas Spezial-Mikro-Struktur und Leistungsmerkmale, die Oberfläche seiner Präzision und Ultra-Präzision Schleifen Prozess, um die Nano-Level-Oberfläche Qualität und flach zu erreichen. Die Studie der Han-Rongju von Changchun Optical Machine von CAS zeigt, dass die Körnung von microkristalline Glas etwa 30 ~ 40 ist. Um die Beseitigung ihrer atomaren Gewichts-Ebene zu erreichen, müssen Sie daher die Ultra-glatte Oberfläche auf der Nano-Ebene Polieren. Die Oberflächen-Atome von microkristalline Glas werden aus dem Werkstück-Körper unter den Auswirkungen der abrasiven Teilchen entfernt. Der Prozess der Atom-Entfernung ist die Kollision, Diffusion und Füllung der Schleifmittel und das Werkstück auf der atomaren Ebene. Das Mahlen und Polieren ist daher der wichtigste Prozess der Verarbeitung von microkristallline Glas in diesem Stadium.
Studie über den Prozess der Schleifen und Polieren von Glas-Keramik durch Konsolidierung abrasive Veredelung
1. Polieren der Experiment-Einstellung
1,1 polnische Plattform
Schleifen und Polieren von Tests in der PHL-350-Typ Plane High-Speed-Schleifen-Polieren-System, um die Flatness der Schleifmaschine zu verbessern, reduzieren Sie den Verhalten Fehler, in der Regel im Prozess vor dem Schleifen Scheibe 22 gegenseitige Forschung, und die Klinge Lineal, um die flache der Schleifmaschine zu überprüfen, um sicherzustellen, dass die Oberfläche Qualität des maschinell bearbeitet Werkstück.
1,2, Polieren Pad
Das polnische Pad hat die Funktionen, die polnische Flüssigkeit im CMP-Prozess zu speichern und Sie in den gesamten Bereich des Werkstück zu transportieren, die mechanische und chemische Umgebung beizubehalten, die für das Polieren und die Übertragung des Materials erforderlich ist, um die mechanische Belastung zu entfernen, usw. [1]. Daher ist es von großer Bedeutung, die W14 von Diamond hydrophile zu verwenden, um eine qualitativ hochwertige und kostengünstige CMP-Verarbeitung zu erzielen.
1,3, Polieren Flüssigkeit
Die Verwendung von dereinen Wasser und anderen chemischen Zusätzen als Polieren Flüssigkeiten, die Behandlung der polnischen Gülle und ausgesetzt Partikel in traditionellem freien abrasiven Polieren und die Änderung des pH-Wertes führen zu Instabilität und Niederschlag der abrasiven Körner, das vereinfacht die Behandlung der polnischen Abfälle in der traditionellen freien Schleifmittel und hat die Eigenschaften des grünen Umweltschutz [2]. Die polnische Lösung, die in diesem Experiment verwendet wird, ist nur ein dereines Wasser.
2, Druck p, Drehzahl Ω 1, Offset e Änderungen der Oberflächen-Qualität des Werkstück-Effekts
2,1 Oberflächen-Qualität
Die Oberflächen-Qualität von maschinell Werkstücken ist ein weiterer wichtiger Index für die Beurteilung der Leistung von der Verarbeitung von Fischerei-, einschließlich der flachen Oberfläche der dreidimensionalen Konturen des Werkstück-Oberflächen-Rauheit SA, RA und Werkstück. Die dreidimensionale Contour Surface Rauheit SA, RA und lokale Flatness PV werden durch das Ademicroxam-System gemessen, der Messbereich ist 868 μmx646μm, Sweep depth ist 50nm, und die Vergrößerung ist 5 x 2.0.
2,2, der Effekt von Druck p Change on Sa, RA
der Druck p ist 0,05 MPa, 0,075 MPa, 0,1 MPa, die anderen Parameter lauten wie folgt: ω1 = 150rpm, e = 70 mm, Schleifen von microkristalline Glas, jedes Stück Schleifen Zeit ist 10 min. Vor und nach dem Schleifen mit Alkohol, um die Oberfläche zu reinigen, nach dem Trocknen bzw. in der Mitte, Mitte und Kante des Werkstück 3 Standorte, um 2 Messen, um seine SA und RA zu messen, nehmen Sie den Durchschnitt, berechnen die Standardabweichung, Analyse von 3 Arten von Druck-Schleifen Glas-Keramik an verschiedenen Standorten der Oberflächen-Rauheit Vergleich Ergebnisse, Kann gesehen werden: 1 der Druck ändert sich auf die Rauheit der Glas-Keramik Schleifen, zu viel Druck ist nicht förderlich für die Verbesserung der Oberfläche Qualität der polierten Glas-Keramik. 2 die Kante Position des Mikro-Kristall-Glas nach der Verarbeitung ist besser als die der mittleren und mittleren Position, und der Druck sollte nicht zu hoch sein, wenn die Glaskeramik von der konsolidierten Schleifmittel verarbeitet werden.
2,3, die Auswirkung der Änderung der Drehzahl ω1 auf SA und RA
Wählen Sie die Rotations-ω1 für 100rpm, 150rpm,/min, andere Verarbeitungs-Parameter sind wie folgt: =. 075Mpa, e = 70 mm, Schleifen von microkristalline Glas, jedes Stück Schleifen Zeit ist 10 min. Vor und nach dem Schleifen mit Alkohol, um die Oberfläche zu reinigen, nach dem Trocknen bzw. in der Mitte, Mitte und Kante des Werkstück 3 Standorte, um 2 Messen, um seine SA und RA zu messen, der Durchschnittswert, die Berechnung der Standardabweichung, Analyse von 3 Arten von Schleifen Glas an verschiedenen Standorten unter der Oberfläche Rauheit Kontrast Ergebnisse, Es kann gesehen werden: 1 die Auswirkung der Drehzahl auf den Rauheit der Glaskeramik zeigt normale Verteilung, und die korrekte Drehzahl ist günstigen, um die Rauheit der Glaskeramik zu stabilisieren. 2 die Kante Position des groben Glases nach der Verarbeitung ist offensichtlich besser als die der Mitte und Mitte.
2,4, der Einfluss der Veränderung der Bedeutung E on Sa, RA
Wählen Sie die unweite Entfernung von e 50 mm, 70 mm, 90 km, und andere Verarbeitung Parameter sind wie folgt: =. 075Mpa, ω1 = 150rpm, Schleifen von microkristallline Glas, jedes Stück Schleifen Zeit für die 10 min. Vor und nach dem Schleifen mit Alkohol zur Reinigung der Oberfläche, Trocknung beziehungsweise, in der Mitte des Werkstück, die mittlere und Kante 3 Standorten nehmen 2 Messen, um Ihre SA und RA zu messen, durchschnittlich, berechnen Standardabweichung, Analysieren der Vergleich Ergebnisse der Rauheit der Oberflächen an verschiedenen Positionen von 3 Arten von Glas-Keramik unter unweiter Strecke, es kann gesehen werden, dass: 1 Zunahme der Empfindlichkeit, Schleifen-Geschwindigkeit steigt, Eine höhere Genauigkeit der Oberflächen kann erreicht werden. 2 die Rauheit der Oberfläche des marginalen Teils ist niedriger als die mittlere und mittlere.
2,5 Analyse des Einflusses der Prozessparameter auf die Qualität der Oberflächen
Die Ergebnisse des obigen Vergleichs zeigen, dass die Oberflächen-Qualität der Glaskeramik besser ist als die traditionelle verarbeitende Methode. Verglichen mit der SA, RA und PV-Werte, die aus verschiedenen Druck, Rotations-Geschwindigkeit und unweite Entfernung, die wichtigsten technologischen Parameter wie Druck, Rotations-Geschwindigkeit und die verrückte sind angemessen nach den Anforderungen an die Verarbeitung ausgewählt.
III. Morphologie von Glaskeramik nach Schleifen und Verarbeitung
Die folgende Abbildung ist die Morphologie der Oberfläche der Glaskeramik nach der Maschine durch eine konsolidierte Schleifmittel nach einer 1500 Mal gefaltet Beobachtung des Werkzeugs Mikroskop, es kann gesehen werden, dass die Oberfläche des Schleifen fast alle unregelmäßigen Gruben, aber keine Kratzer, was bedeutet, dass das Glas in den Prozess der Schleifen der materiellen Entfernung ist vor allem spröde Entfernung, anstatt Kunststoff-Entfernung, Es zeigt auch, dass microkristallline Glas zu spröde und Hard Material gehört, seine Struktur gehört zu polykristalline, so ist es geeignet, die Art der Konsolidierung abrasive Schleifen zu verabschieden.
IV. Zusammenfassung
MikrokristallineGlasMit guten physikalischen Eigenschaften sind weit verbreitet in verschiedenen Bereichen, so dass die Studie von microcrystalline Glas ist von großer Bedeutung. Daher ist die in diesem Papier wurden die Prozess-Forschung der Glaskeramik mit der Konsolidierung abrasiven Polieren, und studierte die Technologie und technologische Parameter der Glas-Keramik durch die Methode der experimentellen und theoretischen Analyse, um das Problem der herkömmlichen Verarbeitung Methode der Materialien zu lösen [3]. Die Arbeit und Forschungsergebnisse dieses Papiers sind wie folgt zusammengefasst:
(1) die Entwicklung von Glas-Keramik, Struktur Zusammensetzung und die Forschungsergebnisse von Glas-Keramik im in-und Ausland werden analysiert, und die Aussichten und das Potenzial von Glas-Keramik als neue Art von Materialien werden diskutiert.
(2) die Prozesstechnik und die wichtigsten technologischen Parameter der durch die Konsolidierung abrasiven Polieren verarbeiteten Glaskeramik wurden mittels Experiment untersucht. die Schlussfolgerungen des Forschungsinstitut sind wie folgt: Druck, Drehzahl, ausgefallene Distanz sind die wichtigsten Verarbeitungs-Parameter der durch Konsolidierung abrasive verarbeiteten Glaskeramik, und die Änderungen dieser Parameter wirken sich auf die Qualität der Oberflächen aus und sollten die Anforderungen an die Verarbeitung erfüllen. Anforderungen an die Genauigkeit und die wirtschaftlichen Anforderungen, um vernünftig zu wählen.