Estudio sobre el procesado de vidrio cerámico por pulido abrasivo con consolidación
Fanyu
Chinamirrormanufacturer .com
2017-10-12 17:14:28
La cerámica de cristal es una clase de buen material estructural, que tiene buenas características mecánicas y estabilidad química da alta temperatura, así despertando la atención amplia de la gente. En los últimos años, con el rápido desarrollo de la tecnología informática en la memoria externa de las computadoras, como un sustrato de disco duro nuevos materiales de vidrio cerámico en el desarrollo de la computadora se favorece. Debido a la cristalización del vidrio microcristalino y a la estructura y a la composición química de la fase de cristal, la microdureza es muy alta, el método de proceso tradicional es difícil de procesar la superficie lisa del submicron, así el pulido mecánico químico (CMP) se convierte en la única tecnología eficaz para procesar la vitrocerámica. Por lo tanto, es posible explorar el proceso de pulido de vidrio cerámico mediante la consolidación de la almohadilla de pulido abrasivo, que puede proporcionar una base para el desarrollo de la tecnología de procesamiento de vidrio de cerámica de ultra precisión.
Método de proceso del vidrio microcristalino
Actualmente, en el país y en el extranjero, según las características especiales de la micro-estructura y del funcionamiento del vidrio micro-Crystal, la superficie de su precisión y proceso de pulido de la ultra-precisión, para alcanzar calidad y llanura superficiales del nano-nivel. El estudio del han Rongju de la máquina óptica de Changchun de CAS demuestra que el tamaño de grano del vidrio microcristalino es cerca de 30 ~ 40nm. Por lo tanto, para lograr la eliminación de su nivel de peso atómico, para obtener la superficie ultra lisa, se deben utilizar los abrasivos de pulido de nivel nano. Los átomos superficiales del vidrio microcristalino se quitan del cuerpo del objeto bajo impacto de partículas abrasivas. El proceso de eliminación de átomos es el proceso de colisión, difusión y llenado del abrasivo y la pieza de trabajo a nivel atómico. Por lo tanto, el proceso de pulido y de pulido es el proceso principal de procesar el vidrio microcristalino en esta etapa.
Estudio sobre el proceso de rectificado y pulido de vidrio cerámico mediante la consolidación de acabados abrasivos
1. Ajuste del experimento de pulido
1,1. plataforma de pulido
Pulido y pulido de la prueba en el PHL-350-Type plano de pulido de alta velocidad de pulido del sistema, para mejorar la llanura del disco de pulido, reduzca el error del comportamiento, generalmente en el proceso antes de la investigación mutua del disco de pulido 22, y de la regla de la lámina para comprobar la llanura de la placa de pulido para asegurar que la calidad superficial del objeto trabajado a máquina.
1,2, cojín de pulido
El cojín de pulido tiene las funciones de almacenar el líquido de pulido en el proceso del CMP y de transportarlos a la zona de proceso entera de la pieza de trabajo, manteniendo el ambiente mecánico y químico requerido para pulir, y transfiriendo el material para quitar la carga mecánica, el etc. [1]. Por lo tanto, es de gran importancia para utilizar el W14 de FAP hidrofílico del diamante como cojín de pulido para alcanzar la alta calidad y el proceso bajo del CMP del coste.
1,3, líquido de pulido
Usando el agua desionizada y otros añadidos químicos como líquidos de pulido, el tratamiento de la mezcla de pulido y de las partículas suspendidas en el pulido libre tradicional del abrasivo y el cambio del valor de pH causan la inestabilidad y la precipitación de granos abrasivos, que simplifica el tratamiento de la basura de pulido en el pulido abrasivo libre tradicional y tiene las características de la protección del medio ambiente verde La solución de pulido utilizada en este experimento es sólo agua desionizada.
2, presión p, velocidad Ω 1, offset e cambia en la calidad superficial del efecto del objeto
2,1. calidad superficial
La calidad superficial del objeto mecanizado es otro índice importante para evaluar el funcionamiento de proceso de FAP, incluyendo la llanura de la rugosidad de la superficie tridimensional del contorno SA, RA y pieza de trabajo. La rugosidad de la superficie tridimensional del contorno SA, RA y la llanura local PV son medidos por el sistema Ademicroxam, el rango de medición es 868 μmx646μm, la profundidad de barrido es 50nm, y la ampliación es 5 x 2,0.
2,2, el efecto de la presión p cambio en SA, RA
respectivamente, la presión p es 0.05 MPa, MPa de 0.075, 0.1 MPa, los otros parámetros son como sigue: ω1 = 150RPM, e = 70 m m, moliendo del vidrio microcristalino, cada pedazo de tiempo de pulido es 10 minutos. Antes y después de moler con alcohol para limpiar la superficie, después de secar respectivamente en el centro, el centro y el borde del objeto 3 localizaciones para tomar 2 puntos de medición para medir su SA y RA, tome el promedio, calcule la desviación estándar, análisis de 3 clases de vidrio de pulido de la presión-cerámica en diversas localizaciones de los resultados de la comparación de la aspereza superficial, Puede ser visto: 1 los cambios de la presión afectarán a la aspereza del pulido de la vidrio-cerámica, demasiada presión no es conducente a la mejora de la calidad superficial de la vitrocerámica pulida. 2 la posición del borde del vidrio micro-cristalino después de procesar es mejor que el de la posición media y media, y la presión no debe ser demasiado alta cuando la cerámica de cristal es procesada por el abrasivo consolidado.
2,3, el efecto del cambio de la velocidad rotatoria ω1 en el SA y el RA
Elija la velocidad rotatoria ω1 para 100rpm, 150RPM, 200rpm, otros parámetros de proceso es como sigue: =. 075Mpa, e = 70 mm, moliendo del vidrio microcristalino, cada pedazo de tiempo de pulido es 10 minutos. Antes y después de moler con alcohol para limpiar la superficie, después de secar respectivamente en el centro, el centro y el borde del objeto 3 localizaciones para tomar 2 puntos de medición para medir su SA y RA, el valor medio, el cálculo de la desviación estándar, análisis de 3 clases de vidrio de pulido en diversas localizaciones bajo resultados de contraste superficiales de la aspereza, Se puede ver: 1 el efecto de la velocidad de rotación en el valor de rugosidad de la cerámica de vidrio muestra la distribución normal, y la velocidad adecuada de rotación es propicio para estabilizar la rugosidad de la cerámica de vidrio. 2 la posición del borde del vidrio de grano grueso después de procesar es obviamente mejor que la del centro y el medio.
2,4, la influencia del cambio de excentricidad E en SA, RA
Seleccione la distancia excéntrica de e 50 mm, 70 mm, 90 mm, y otros parámetros de procesamiento son los siguientes: =. 075Mpa, ω1 = 150RPM, molienda de vidrio microcristalino, cada pieza de tiempo de molienda para el 10 minutos. Antes y después de moler con alcohol para limpiar la superficie, secándose, respectivamente, en el centro de la pieza de trabajo, las localizaciones del centro y del borde 3 toman 2 puntos de medición para medir su SA y RA, tome el promedio, calcule la desviación estándar, analice los resultados de la comparación de la aspereza superficial en diversas posiciones de 3 clases de vidrio-cerámica bajo distancia excéntrica, puede ser visto que: 1 los aumentos de la excentricidad, velocidad de pulido aumenta, Se puede obtener una mayor precisión en la superficie. 2 la aspereza superficial de la parte marginal es más baja que el centro y el centro.
2,5. Análisis de la influencia de los parámetros de proceso en la calidad superficial
Los resultados de la comparación anterior muestran que la calidad de la superficie de la cerámica de vidrio es mejor que la del método de procesamiento tradicional. En comparación con los valores SA, RA y PV obtenidos a partir de diferentes presiones, velocidad rotacional y distancia excéntrica, los principales parámetros tecnológicos como la presión, la velocidad rotacional y la excentricidad son razonablemente seleccionados de acuerdo a los requisitos de procesamiento.
III. morfología superficial de la vidrio-cerámica después de moler y de procesar
La siguiente figura es la morfología de la superficie de la cerámica de vidrio después de ser mecanizada por un abrasivo consolidado después de una observación de 1500 veces por pliegue del microscopio de la herramienta, puede ser visto que la superficie del pulido es casi todos los hoyos irregulares, pero ningunos rasguños, que significa que el vidrio en curso de moler el retiro material es principalmente retiro frágil, algo que retiro plástico, También demuestra que el vidrio microcristalino pertenece al material quebradizo y duro, su estructura pertenece al policristalino, así que es conveniente adoptar la manera de pulido abrasivo de la consolidación.
IV. Resumen
MicrocristalinaVidrioCon buenas propiedades físicas son ampliamente utilizados en varios campos, por lo que el estudio de vidrio microcristalino es de gran importancia. Por lo tanto, este trabajo llevó a cabo la investigación de procesos de la cerámica de vidrio con la consolidación de pulido abrasivo, y estudió la tecnología y los parámetros tecnológicos de la cerámica de vidrio por el método de análisis experimental y teórico, con el fin de resolver el problema del método de procesamiento tradicional de materiales refractarios [3]. Los resultados del trabajo y de la investigación de este papel se resumen como sigue:
(1) se analiza el desarrollo de la cerámica de vidrio, la composición de la estructura y los resultados de la investigación de la cerámica de vidrio en el hogar y en el extranjero, y se discute la perspectiva y el potencial de la cerámica de vidrio como nuevo tipo de materiales.
(2) la tecnología de procesamiento y los principales parámetros tecnológicos de la cerámica de vidrio procesada por consolidación de pulido abrasivo se estudiaron mediante experimentos. las conclusiones del Instituto de investigación son las siguientes: presión, velocidad rotacional, distancia excéntrica son los principales parámetros de procesamiento de la cerámica de vidrio procesado por la consolidación de abrasivos, y los cambios de estos parámetros afectará a la calidad de la superficie, y deben ser los requisitos de procesamiento integrado, Requisitos de precisión y requisitos económicos para elegir razonablemente.
Método de proceso del vidrio microcristalino
Actualmente, en el país y en el extranjero, según las características especiales de la micro-estructura y del funcionamiento del vidrio micro-Crystal, la superficie de su precisión y proceso de pulido de la ultra-precisión, para alcanzar calidad y llanura superficiales del nano-nivel. El estudio del han Rongju de la máquina óptica de Changchun de CAS demuestra que el tamaño de grano del vidrio microcristalino es cerca de 30 ~ 40nm. Por lo tanto, para lograr la eliminación de su nivel de peso atómico, para obtener la superficie ultra lisa, se deben utilizar los abrasivos de pulido de nivel nano. Los átomos superficiales del vidrio microcristalino se quitan del cuerpo del objeto bajo impacto de partículas abrasivas. El proceso de eliminación de átomos es el proceso de colisión, difusión y llenado del abrasivo y la pieza de trabajo a nivel atómico. Por lo tanto, el proceso de pulido y de pulido es el proceso principal de procesar el vidrio microcristalino en esta etapa.
Estudio sobre el proceso de rectificado y pulido de vidrio cerámico mediante la consolidación de acabados abrasivos
1. Ajuste del experimento de pulido
1,1. plataforma de pulido
Pulido y pulido de la prueba en el PHL-350-Type plano de pulido de alta velocidad de pulido del sistema, para mejorar la llanura del disco de pulido, reduzca el error del comportamiento, generalmente en el proceso antes de la investigación mutua del disco de pulido 22, y de la regla de la lámina para comprobar la llanura de la placa de pulido para asegurar que la calidad superficial del objeto trabajado a máquina.
1,2, cojín de pulido
El cojín de pulido tiene las funciones de almacenar el líquido de pulido en el proceso del CMP y de transportarlos a la zona de proceso entera de la pieza de trabajo, manteniendo el ambiente mecánico y químico requerido para pulir, y transfiriendo el material para quitar la carga mecánica, el etc. [1]. Por lo tanto, es de gran importancia para utilizar el W14 de FAP hidrofílico del diamante como cojín de pulido para alcanzar la alta calidad y el proceso bajo del CMP del coste.
1,3, líquido de pulido
Usando el agua desionizada y otros añadidos químicos como líquidos de pulido, el tratamiento de la mezcla de pulido y de las partículas suspendidas en el pulido libre tradicional del abrasivo y el cambio del valor de pH causan la inestabilidad y la precipitación de granos abrasivos, que simplifica el tratamiento de la basura de pulido en el pulido abrasivo libre tradicional y tiene las características de la protección del medio ambiente verde La solución de pulido utilizada en este experimento es sólo agua desionizada.
2, presión p, velocidad Ω 1, offset e cambia en la calidad superficial del efecto del objeto
2,1. calidad superficial
La calidad superficial del objeto mecanizado es otro índice importante para evaluar el funcionamiento de proceso de FAP, incluyendo la llanura de la rugosidad de la superficie tridimensional del contorno SA, RA y pieza de trabajo. La rugosidad de la superficie tridimensional del contorno SA, RA y la llanura local PV son medidos por el sistema Ademicroxam, el rango de medición es 868 μmx646μm, la profundidad de barrido es 50nm, y la ampliación es 5 x 2,0.
2,2, el efecto de la presión p cambio en SA, RA
respectivamente, la presión p es 0.05 MPa, MPa de 0.075, 0.1 MPa, los otros parámetros son como sigue: ω1 = 150RPM, e = 70 m m, moliendo del vidrio microcristalino, cada pedazo de tiempo de pulido es 10 minutos. Antes y después de moler con alcohol para limpiar la superficie, después de secar respectivamente en el centro, el centro y el borde del objeto 3 localizaciones para tomar 2 puntos de medición para medir su SA y RA, tome el promedio, calcule la desviación estándar, análisis de 3 clases de vidrio de pulido de la presión-cerámica en diversas localizaciones de los resultados de la comparación de la aspereza superficial, Puede ser visto: 1 los cambios de la presión afectarán a la aspereza del pulido de la vidrio-cerámica, demasiada presión no es conducente a la mejora de la calidad superficial de la vitrocerámica pulida. 2 la posición del borde del vidrio micro-cristalino después de procesar es mejor que el de la posición media y media, y la presión no debe ser demasiado alta cuando la cerámica de cristal es procesada por el abrasivo consolidado.
2,3, el efecto del cambio de la velocidad rotatoria ω1 en el SA y el RA
Elija la velocidad rotatoria ω1 para 100rpm, 150RPM, 200rpm, otros parámetros de proceso es como sigue: =. 075Mpa, e = 70 mm, moliendo del vidrio microcristalino, cada pedazo de tiempo de pulido es 10 minutos. Antes y después de moler con alcohol para limpiar la superficie, después de secar respectivamente en el centro, el centro y el borde del objeto 3 localizaciones para tomar 2 puntos de medición para medir su SA y RA, el valor medio, el cálculo de la desviación estándar, análisis de 3 clases de vidrio de pulido en diversas localizaciones bajo resultados de contraste superficiales de la aspereza, Se puede ver: 1 el efecto de la velocidad de rotación en el valor de rugosidad de la cerámica de vidrio muestra la distribución normal, y la velocidad adecuada de rotación es propicio para estabilizar la rugosidad de la cerámica de vidrio. 2 la posición del borde del vidrio de grano grueso después de procesar es obviamente mejor que la del centro y el medio.
2,4, la influencia del cambio de excentricidad E en SA, RA
Seleccione la distancia excéntrica de e 50 mm, 70 mm, 90 mm, y otros parámetros de procesamiento son los siguientes: =. 075Mpa, ω1 = 150RPM, molienda de vidrio microcristalino, cada pieza de tiempo de molienda para el 10 minutos. Antes y después de moler con alcohol para limpiar la superficie, secándose, respectivamente, en el centro de la pieza de trabajo, las localizaciones del centro y del borde 3 toman 2 puntos de medición para medir su SA y RA, tome el promedio, calcule la desviación estándar, analice los resultados de la comparación de la aspereza superficial en diversas posiciones de 3 clases de vidrio-cerámica bajo distancia excéntrica, puede ser visto que: 1 los aumentos de la excentricidad, velocidad de pulido aumenta, Se puede obtener una mayor precisión en la superficie. 2 la aspereza superficial de la parte marginal es más baja que el centro y el centro.
2,5. Análisis de la influencia de los parámetros de proceso en la calidad superficial
Los resultados de la comparación anterior muestran que la calidad de la superficie de la cerámica de vidrio es mejor que la del método de procesamiento tradicional. En comparación con los valores SA, RA y PV obtenidos a partir de diferentes presiones, velocidad rotacional y distancia excéntrica, los principales parámetros tecnológicos como la presión, la velocidad rotacional y la excentricidad son razonablemente seleccionados de acuerdo a los requisitos de procesamiento.
III. morfología superficial de la vidrio-cerámica después de moler y de procesar
La siguiente figura es la morfología de la superficie de la cerámica de vidrio después de ser mecanizada por un abrasivo consolidado después de una observación de 1500 veces por pliegue del microscopio de la herramienta, puede ser visto que la superficie del pulido es casi todos los hoyos irregulares, pero ningunos rasguños, que significa que el vidrio en curso de moler el retiro material es principalmente retiro frágil, algo que retiro plástico, También demuestra que el vidrio microcristalino pertenece al material quebradizo y duro, su estructura pertenece al policristalino, así que es conveniente adoptar la manera de pulido abrasivo de la consolidación.
IV. Resumen
MicrocristalinaVidrioCon buenas propiedades físicas son ampliamente utilizados en varios campos, por lo que el estudio de vidrio microcristalino es de gran importancia. Por lo tanto, este trabajo llevó a cabo la investigación de procesos de la cerámica de vidrio con la consolidación de pulido abrasivo, y estudió la tecnología y los parámetros tecnológicos de la cerámica de vidrio por el método de análisis experimental y teórico, con el fin de resolver el problema del método de procesamiento tradicional de materiales refractarios [3]. Los resultados del trabajo y de la investigación de este papel se resumen como sigue:
(1) se analiza el desarrollo de la cerámica de vidrio, la composición de la estructura y los resultados de la investigación de la cerámica de vidrio en el hogar y en el extranjero, y se discute la perspectiva y el potencial de la cerámica de vidrio como nuevo tipo de materiales.
(2) la tecnología de procesamiento y los principales parámetros tecnológicos de la cerámica de vidrio procesada por consolidación de pulido abrasivo se estudiaron mediante experimentos. las conclusiones del Instituto de investigación son las siguientes: presión, velocidad rotacional, distancia excéntrica son los principales parámetros de procesamiento de la cerámica de vidrio procesado por la consolidación de abrasivos, y los cambios de estos parámetros afectará a la calidad de la superficie, y deben ser los requisitos de procesamiento integrado, Requisitos de precisión y requisitos económicos para elegir razonablemente.