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통합을 연마 연마 하 여 유리 세라믹 가공에 관한 연구

fanyu .com, 중국 2017-10-12 17:14:28
유리 세라믹은 좋은 기계적 성질 및 고 열 화학 안정성을 가진 좋은 구조상 물자의 종류, 따라서 사람들의 넓은 관심을 흥분 시키는 이다. 컴퓨터의 외장 메모리에 컴퓨터 기술의 급속 한 발전과 함께 최근 몇 년 동안, 하드 디스크 기판의 새로운 재료를 유리-도자기의 개발에 선호 합니다. 미세 결정 유리의 결정 화와 구조 및 화학 조성 물로 인해, 미세 경도는 매우 높고, 전통적인 가공 방법은 submicron의 매끄러운 표면을 가공 하기 어렵기 때문에 화학 기계 연마 (CMP)는 유리 세라믹 가공을 위한 유일한 효과적인 기술이 된다. 그러므로, 초 정밀 유리 세라믹 가공 기술의 발달을 위한 기초를 제공할 수 있는 강화 거친 닦는 패드를 사용해 서 닦는 유리 제 세라믹 스의 과정을 탐구 하는 것이 가능 하다.
  
   미세 결정성 유리의 가공 방법
  
현재, 국내외에서, 마이크로 결정 유리 특별 한 마이크로 구조 및 성능 특성에 따라, 그것의 정밀도 및 초 정밀 연 삭 공정의 표면은, nano 수준 지상 질 및 편평 함을 달성 하기 위하여. CAS의 창춘 광학적 인 기계의 한 rronju의 학문은 micro결정성 유리의 곡물 크기가 대략 30 ~ 40nm 다는 것을 보여준다. 그러므로, 그것의 원자 무게 수준의 제거를 달성 하기 위하여, 매우 매끄러운 표면을 얻기 위하여, nano 수준 닦는 연마 재는 이용 되어야 한다. 미세 결정성 유리의 표면 원자는 연마 입자의 영향을 받고 공작 물 본체에서 제거 됩니다. 원자 제거의 과정은 원자 수준에 연마 재의 충돌, 유포 및 채우는 과정 및 공작 물 이다. 따라서 연 삭 및 연마 공정은이 단계에서 미세 결정 유리를 처리 하는 주요 과정입니다.
  
   통합 연마 마무리에 의해 유리 세라믹 연마의 과정에 대 한 연구
  
1. 연마 실험 설정
  
1.1. 연마 플랫폼
  
연 삭 및 연마 테스트 phl-350-타입 평면 고속 연 삭 연마 시스템, 연 삭 디스크의 평탄도를 개선 하기 위해, 일반적으로 분쇄 디스크 22 상호 연구와 블레이드 눈금자가 연마 판의 평탄도를 점검 하기 전에 동작 오차를 줄여 가공 된 공작 물의 표면 품질을 보장 합니다.
  
1.2, 닦는 패드
  
닦는 패드는 CMP 과정에 있는 닦는 액체 저장의 기능이 있고, 닦는을 위해 요구 된 기계 및 화학 환경, 및 기계적인 짐, 등등을 제거 하기 위하여 물자를 옮기기 유지 하는 제품의 전체적인 가공 지역에 수송 하. [1]. 그러므로, 고품질 및 저가 CMP 가공을 달성 하기 위하여 닦는 패드로 다이아몬드 친수성 FAP의 W14를 이용 하는 중대 한 중요성 이다.
  
1.3, 연마 액체
  
탈수 물 및 기타 화학 첨가제를 사용 하 여 연마 유체로, 전통적인 자유로운 연마 재 닦 고에 있는 폐기물을 닦기의 처리를 간단 하 게 하는 연마 재의 변화 및 ph 값의 원인 불안정 그리고 강 수가 원인이 되는 전통 자유 연마 재 닦 고에 있는 폴 리 싱 슬러리의 처리와 녹색 환경 보호의 특성이 있다 [2]. 이 실험에서 사용 되는 연마 용액은 탈 이온 된 물 뿐입니다.
  
   2, 압력 p, 속도 Ω 1, 공작 물 효력의 지상 질에 있는 분파 e 변화
  
2.1. 표면 품질
  
가공 공작 물의 표면 품질은 제품의 3 차원 컨투어 표면 거칠기 sa, RA 및 공작 물의 평탄도를 포함 하 여 FAP 프로세싱 성능을 평가 하는 또 다른 중요 한 인덱스입니다. 3 차원 컨투어 표면 거칠기 SA, RA 및 로컬 평탄도 PV는 ademicroxam 시스템에 의해 측정 되며, 측정 범위는 868 μ mx646μ m 이며, 스위프 깊이는 50nm 이며, 배율은 5x 2.0 이다.
  
2.2, SA에 압력 p 변경의 효과, RA
  
각각, 압력 p는 0.05 mpa, 0.075 mpa, 0.1 mpa, 다른 매개 변수는 다음과 같습니다: ω 1 = 150rpm, e = 70mm, 미세 결정성 유리 연마, 연 삭 시간의 각 조각은 10 분입니다. 표면을 청소 하기 위하여 알콜으로 갈기 전후에, 각각의 중간, 중간 및 가장자리에 건조 후 공작 물 3 위치는 SA와 RA를 측정 하는 2 측정 포인트를 받아 평균, 표준 편차를 계산, 압력 연 삭 유리-세라믹의 3 종류의 분석 표면 거칠기 비교 결과의 다른 위치에, 볼 수 있습니다: 1 압력 변화는 유리 세라믹 연마의 거칠기에 영향을 미칠 것입니다, 너무 많은 압력이 광택 유리 세라믹의 표면 품질의 개선에 도움이 되지 않습니다. 2 개는 중간과 중간 위치의 그것 보다는 가공 후에 마이크로 결정 유리의 가장자리 위치이 고, 유리 제 세라믹 스가 결합 한 연마 재에 의해 가공 될 때 압력은 너무 높이 면 안 된다.
  
2.3, SA와 RA에 회전 속도 ω 1의 변화의 효력
  
100rpm, 150rpm, 200rpm를 위한 회전 속도 ω 1을 선택 하십시오, 다른 가공 매개 변수는 다음과 같이입니다: =. 075mpa, e = 70mm, 미세 결정 유리의 연 삭, 연 삭 시간의 각 조각은 10 분입니다. 표면을 청소 하기 위하여 알콜으로 갈기 전후에, 각각의 중간, 중간 및 가장자리에 건조 후 공작 물 3 위치는 SA와 RA를 측정 하기 위해 2 측정 포인트를 데리고, 평균 값, 표준 편차 계산, 표면 거칠기 대비 결과 아래 다른 위치에 연마 유리의 3 종류의 분석, 그것은 볼 수 있습니다: 1 유리 세라믹의 거칠기 값에 회전 속도의 효과는 정상적인 분포를 보여줍니다, 그리고 회전의 적절 한 속도는 유리 세라믹의 거칠기를 안정화 하기 위해 protious입니다. 가공 후에 거친 나뭇결 유리의 2 가장자리 위치는 중간과 센터의 그것 보다는 명백 하 더 낫다.
  
2.4, SA에 편심 E의 변화의 영향, RA
  
전자 50mm, 70mm, 90mm, 및 기타 처리 매개 변수의 편심 거리를 선택 합니다 다음과 같습니다: =. 075mpa, ω 1 = 150rpm, 미세 결정 유리의 연 삭, 10 분에 대 한 연 삭 시간의 각 조각. 표면, 건조를, 각각, 공작 물의 한가운데에 청소 하는 알콜로 갈기 전후에 중간과 가장자리 3 위치는 그들의 SA 및 RA를 측정 하기 위하여 2 개의 측정 점을가지고가 고, 표준 편차를 계산 하 고, 편심 거리의 밑에 유리 제 세라믹 스 3 개의 종류의 다른 위치에 표면 거칠기의 비교 결과를, 그것 볼 수 있다 분석 한다: 1 개의 이심률 증가, 연 삭 속도 증가 높은 표면 정확도를 얻을 수 있습니다. 2 가장자리 부분의 표면 거칠기는 중간과 중간 보다 낮습니다.
  
2.5. 표면 품질에 대 한 공정 파라미터 영향 분석
  
위의 비교 결과는 유리 세라믹의 표면 품질이 기존의 처리 방법 보다 우수 하다는 것을 보여준다. 다른 압력, 회전 속도 및 편심 거리에서 얻은 SA, RA 및 PV 값과 비교 하 여 압력, 회전 속도 및 이심률과 같은 주요 기술 매개 변수는 처리 요구 사항에 따라 합리적으로 선택 됩니다.
  
   III. 연 삭 및 가공 후 유리 세라믹의 표면 형태
  
뒤에 오는 그림은 공구 현미경의 1500 시간 겹 관측 후에 통합 연마 기에 의해 기계로 가공 된 후에 유리 제 세라믹 스의 지상 형태학 이다, 분쇄의 표면이 거의 모든 불규칙 한 구 덩이 다는 것을, 그러나 물자 제거를 갈기의 과정에 있는 유리가 플라스틱 제거 보다는 오히려 주로 과민 한 제거 이다는 것을 의미 하는 찰 상, 볼 수 있다, 그것은 또한 micro결정성 유리가 취 성과 단단한 물자에 속한다는 것을 보여준다, 그것의 구조는 다 결정에 속한다, 그래서 통합 연마 재의 방법을 채택 하 게 적당 하다.
  
   IV. 요약
  
미정유리좋은 육체적 인 재산으로 각종 분야에서 널리 이용 된다, 그래서 micro결정성 유리의 학문은 중대 한 의미의 이다. 따라서,이 종이는 통합 연마 연마와 유리 세라믹의 프로세스 연구를 실시 하 고, 실험 및 이론적 분석의 방법으로 유리 세라믹의 기술 및 기술 매개 변수를 공부, 다루기 힘든 재료의 전통적인 처리 방법의 문제를 해결 하기 위해 [3]. 이 백서의 작업 및 연구 결과는 다음과 같이 요약 됩니다.
  
(1) 유리 세라믹의 개발, 구조 조성 및 국내외에서 유리 세라믹의 연구 결과를 분석 하 고, 재료의 새로운 유형으로 유리 세라믹의 전망과 잠재력을 논의 하 고 있습니다.
  
(2) 통합에 의해 가공 된 유리 제 세라믹 스의 가공 기술 그리고 주요 과학 기술 매개 변수는 실험에 의해 연마 재 연마 공부 되었다. 연구소의 결론은 다음과 같습니다: 압력, 회전 속도, 편심 거리는 통합 연마에 의해 처리 유리 세라믹의 주요 처리 매개 변수 이며, 이러한 매개 변수의 변화는 표면 품질에 영향을 미칠 것 이며, 통합 처리 요구 사항, 합리적으로 선택 하기 위한 정확도 요구 사항 및 경제적 요구 사항
Glass - ceramic