Estudo sobre processamento de cerâmica de vidro por polimento abrasivo com consolidação
Fanyu
Chinamirrormanufacturer. com
2017-10-12 17:14:28
Vidro-cerâmica é um tipo de bom material estrutural, que tem boas propriedades mecânicas e estabilidade química de alta temperatura, assim despertando a atenção de toda a gente. Nos últimos anos, com o rápido desenvolvimento da tecnologia informática na memória externa dos computadores, como um substrato de disco rígido novos materiais de vidro-cerâmica no desenvolvimento do computador é favorecido. Devido à cristalização do vidro microcristalino e da estrutura e composição química da fase de vidro, a microdurabilidade é muito alta, o método de processamento tradicional é difícil de processar a superfície lisa do submicron, assim, o polimento mecânico químico (CMP) torna-se a única tecnologia eficaz para o processamento de vidro-cerâmica. Conseqüentemente, é possível explorar o processo de polimento de vidro-cerâmica usando a almofada de polimento abrasivo da consolidação, que pode fornecer uma base para o desenvolvimento da tecnologia de processamento vidro-cerâmica da ultra precisão.
Método de processamento de vidro microcristalino
Atualmente, em casa e no exterior, de acordo com a micro-Crystal Glass especial e características de desempenho, a superfície de sua precisão e ultra-precisão processo de moedura, de modo a atingir a qualidade de superfície de nível nano e nivelamento. O estudo do Han Rongju de Changchun óptica da máquina de CAS mostra que o tamanho do grão de vidro microcristalino é de cerca de 30 ~ 40nm. Portanto, para conseguir a remoção do seu nível de peso atômico, para obter a superfície ultra Lisa, os abrasivos de polimento de nível nano devem ser usados. Os átomos de superfície de vidro microcristalino são removidos do corpo da peça de trabalho o impacto de partículas abrasivas. O processo de remoção de átomos é o processo de colisão, difusão e enchimento do abrasivo e da peça de trabalho no nível atômico. Portanto, o processo de moedura e polimento é o principal processo de processamento de vidro microcristalino nesta fase.
Estudo sobre o processo de moedura e polimento de vidro-cerâmica através da consolidação de acabamento abrasivo
1. ajuste da experiência de lustro
1,1. plataforma de polimento
Moagem e polimento de teste no PHL-350-tipo avião de alta velocidade de moedura do sistema de polimento, a fim de melhorar o nivelamento do disco de moedura, reduza o erro de comportamento, geralmente no processo antes do disco de moedura 22 a pesquisa mútua, e a régua da lâmina para verific o nivelamento da placa de moedura para assegurar-se de que a qualidade de superfície da peça de trabalho usinada.
1,2, almofada de polimento
A almofada de polimento tem as funções de armazenar o fluido de polimento no processo CMP e transportá-los para toda a área de processamento da peça de trabalho, mantendo o ambiente mecânico e químico necessário para polir, e transferir o material para remover a carga mecânica, etc [1]. Conseqüentemente, é do grande significado usar o W14 do diamante hidrofílico FAP como a almofada de lustro para conseguir a alta qualidade e o processamento de CMP do baixo custo.
1,3, líquido de lustro
Usando água desionizada e outros aditivos químicos como fluidos de polimento, o tratamento de polimento de chorume e partículas suspensas em polimento abrasivo livre tradicional e a mudança de valor de pH causam a instabilidade e precipitação de grãos abrasivos, o que simplifica o tratamento de polimento de resíduos em polimento abrasivo livre tradicional e tem as características da proteção ambiental verde [2]. A solução de polimento utilizada nesta experiência é apenas água desionizada.
2, pressão p, velocidade Ω 1, deslocamento e mudanças na qualidade de superfície do efeito da peça de trabalho
2,1. qualidade da superfície
A qualidade da superfície da peça de trabalho usinada é outro índice importante para avaliar o desempenho de processamento da FAP, incluindo o nivelamento da aspereza da superfície de contorno tridimensional SA, ra e peça de trabalho. A aspereza de superfície de contorno tridimensional SA, ra e PV nivelamento local são medidos pelo sistema Ademicroxam, a gama de medição é 868 μmx646μm, profundidade de varredura é 50nm, ea ampliação é de 5x 2.0.
2,2, o efeito da pressão p mudança em SA, ra
respectivamente, a pressão p é 0.05 MPa, 0.075 MPa, 0.1 MPa, os outros parâmetros são os seguintes: ω1 = 150rpm, e = 70mm, moagem de vidro microcristalino, cada pedaço de tempo de moedura é 10min. Antes e depois de moer com álcool para limpar a superfície, após a secagem respectivamente no meio, no meio e na borda da peça de trabalho 3 locais para tomar 2 pontos de medição para medir a sua SA e ra, tomar a média, calcular o desvio padrão, a análise de 3 tipos de vidro de moedura de pressão-cerâmica em diferentes locais dos resultados da comparação de rugosidade superficial, Pode ser visto: 1 as mudanças de pressão afetarão a aspereza da moedura de vidro-cerâmica, demasiada pressão não é conducente à melhoria da qualidade de superfície de vidro-cerâmica lustrada. 2 a posição de aresta do vidro de cristal micro após o processamento é melhor do que a da posição média e média, e a pressão não deve ser demasiado elevada quando as cerâmicas de vidro são processadas pelo abrasivo consolidado.
2,3, o efeito da mudança de velocidade rotacional ω1 em SA e ra
Escolha a velocidade rotacional ω1 para 100rpm, 150rpm, 200rpm, outros parâmetros de processamento são os seguintes: =. 075Mpa, e = 70mm, moagem de vidro microcristalino, cada pedaço de tempo de moedura é 10min. Antes e depois de moer com álcool para limpar a superfície, após a secagem respectivamente no meio, no meio e na borda da peça de trabalho 3 locais para tomar 2 pontos de medição para medir a sua SA e ra, o valor médio, o cálculo do desvio padrão, a análise de 3 tipos de vidro de moedura em diferentes locais os resultados de contraste de rugosidade superficial, Pode-se ver: 1 o efeito da velocidade rotacional no valor da aspereza de vidro-cerâmica mostra a distribuição normal, e a velocidade apropriada da rotação é propícia para estabilizar a aspereza da vidro-cerâmica. 2 a posição da borda do vidro grosseiro-granulado após o processamento é obviamente melhor do que aquela do meio e do centro.
2,4, a influência da mudança de excentricidade e em SA, ra
Selecione a distância excêntrica de e 50mm, 70mm, 90mm e outros parâmetros de processamento são os seguintes: =. 075Mpa, ω1 = 150rpm, moagem de vidro microcristalino, cada pedaço de tempo de moedura para o 10min. Antes e depois de moer com álcool para limpar a superfície, secagem, respectivamente, no meio da peça de trabalho, o meio e borda 3 locais tomar 2 pontos de medição para medir a sua SA e ra, tome a média, calcule o desvio padrão, analise os resultados da comparação da aspereza de superfície em posições diferentes de 3 tipos do vidro-cerâmicos a distância excêntrica, pode-se ver que: 1 aumentos da excentricidade, velocidade de moedura aumenta, A exatidão de superfície mais elevada pode ser obtida. 2 a aspereza de superfície da parte marginal é mais baixa do que o meio e o meio.
2,5. análise da influência dos parâmetros de processo na qualidade da superfície
Os resultados da comparação acima mostram que a qualidade de superfície do vidro-cerâmica é melhor do que aquela do método de processamento tradicional. Comparado com os valores SA, ra e PV obtidos a partir de diferentes pressões, velocidade rotacional e distância excêntrica, os principais parâmetros tecnológicos, como pressão, velocidade rotacional e excentricidade são razoavelmente selecionados de acordo com os requisitos de processamento.
III. morfologia da superfície de vidro-cerâmica após a moedura e o processamento
A figura seguinte é a morfologia superficial da cerâmica de vidro depois de ser usinada por um abrasivo consolidado após uma observação de 1500 vezes do microscópio da ferramenta, pode-se ver que a superfície da moedura é quase todos os poços irregulares, mas nenhuns riscos, que significa que o vidro no processo de mmoer a remoção material é principalmente remoção frágil, um pouco do que a remoção plástica, Igualmente mostra que o vidro microcristalino pertence ao material frágil e duro, sua estrutura pertence ao policristalino, assim que é apropriado adotar a maneira da moedura abrasiva da consolidação.
IV. Sumário
MicrocristalinaVidroCom boas propriedades físicas são amplamente utilizados em vários campos, por isso o estudo de vidro microcristalino é de grande importância. Por conseguinte, este documento realizou a investigação do processo das cerâmicas de vidro com o polimento abrasivo de consolidação, e estudou a tecnologia e os parâmetros tecnológicos do vidro-cerâmica pelo método de análise experimental e teórica, a fim de resolver o problema do método de processamento tradicional de materiais refratários [3]. Os resultados do trabalho e da pesquisa deste artigo são resumidos da seguinte forma:
(1) o desenvolvimento de cerâmicas de vidro, composição da estrutura e os resultados da pesquisa de vidro-cerâmica em casa e no exterior são analisados, e a perspectiva e potencial de cerâmica de vidro como um novo tipo de materiais são discutidos.
(2) a tecnologia de transformação e os principais parâmetros tecnológicos das cerâmicas de vidro processadas pela consolidação da polia abrasiva foram estudados por meio de experiências. as conclusões do Instituto de pesquisa são as seguintes: pressão, velocidade rotacional, distância excêntrica são os principais parâmetros de processamento das cerâmicas de vidro processadas pela consolidação abrasiva, e as mudanças desses parâmetros afetarão a qualidade da superfície, e devem ser requisitos de processamento integrados, Requisitos de precisão e requisitos económicos para escolher razoavelmente.
Método de processamento de vidro microcristalino
Atualmente, em casa e no exterior, de acordo com a micro-Crystal Glass especial e características de desempenho, a superfície de sua precisão e ultra-precisão processo de moedura, de modo a atingir a qualidade de superfície de nível nano e nivelamento. O estudo do Han Rongju de Changchun óptica da máquina de CAS mostra que o tamanho do grão de vidro microcristalino é de cerca de 30 ~ 40nm. Portanto, para conseguir a remoção do seu nível de peso atômico, para obter a superfície ultra Lisa, os abrasivos de polimento de nível nano devem ser usados. Os átomos de superfície de vidro microcristalino são removidos do corpo da peça de trabalho o impacto de partículas abrasivas. O processo de remoção de átomos é o processo de colisão, difusão e enchimento do abrasivo e da peça de trabalho no nível atômico. Portanto, o processo de moedura e polimento é o principal processo de processamento de vidro microcristalino nesta fase.
Estudo sobre o processo de moedura e polimento de vidro-cerâmica através da consolidação de acabamento abrasivo
1. ajuste da experiência de lustro
1,1. plataforma de polimento
Moagem e polimento de teste no PHL-350-tipo avião de alta velocidade de moedura do sistema de polimento, a fim de melhorar o nivelamento do disco de moedura, reduza o erro de comportamento, geralmente no processo antes do disco de moedura 22 a pesquisa mútua, e a régua da lâmina para verific o nivelamento da placa de moedura para assegurar-se de que a qualidade de superfície da peça de trabalho usinada.
1,2, almofada de polimento
A almofada de polimento tem as funções de armazenar o fluido de polimento no processo CMP e transportá-los para toda a área de processamento da peça de trabalho, mantendo o ambiente mecânico e químico necessário para polir, e transferir o material para remover a carga mecânica, etc [1]. Conseqüentemente, é do grande significado usar o W14 do diamante hidrofílico FAP como a almofada de lustro para conseguir a alta qualidade e o processamento de CMP do baixo custo.
1,3, líquido de lustro
Usando água desionizada e outros aditivos químicos como fluidos de polimento, o tratamento de polimento de chorume e partículas suspensas em polimento abrasivo livre tradicional e a mudança de valor de pH causam a instabilidade e precipitação de grãos abrasivos, o que simplifica o tratamento de polimento de resíduos em polimento abrasivo livre tradicional e tem as características da proteção ambiental verde [2]. A solução de polimento utilizada nesta experiência é apenas água desionizada.
2, pressão p, velocidade Ω 1, deslocamento e mudanças na qualidade de superfície do efeito da peça de trabalho
2,1. qualidade da superfície
A qualidade da superfície da peça de trabalho usinada é outro índice importante para avaliar o desempenho de processamento da FAP, incluindo o nivelamento da aspereza da superfície de contorno tridimensional SA, ra e peça de trabalho. A aspereza de superfície de contorno tridimensional SA, ra e PV nivelamento local são medidos pelo sistema Ademicroxam, a gama de medição é 868 μmx646μm, profundidade de varredura é 50nm, ea ampliação é de 5x 2.0.
2,2, o efeito da pressão p mudança em SA, ra
respectivamente, a pressão p é 0.05 MPa, 0.075 MPa, 0.1 MPa, os outros parâmetros são os seguintes: ω1 = 150rpm, e = 70mm, moagem de vidro microcristalino, cada pedaço de tempo de moedura é 10min. Antes e depois de moer com álcool para limpar a superfície, após a secagem respectivamente no meio, no meio e na borda da peça de trabalho 3 locais para tomar 2 pontos de medição para medir a sua SA e ra, tomar a média, calcular o desvio padrão, a análise de 3 tipos de vidro de moedura de pressão-cerâmica em diferentes locais dos resultados da comparação de rugosidade superficial, Pode ser visto: 1 as mudanças de pressão afetarão a aspereza da moedura de vidro-cerâmica, demasiada pressão não é conducente à melhoria da qualidade de superfície de vidro-cerâmica lustrada. 2 a posição de aresta do vidro de cristal micro após o processamento é melhor do que a da posição média e média, e a pressão não deve ser demasiado elevada quando as cerâmicas de vidro são processadas pelo abrasivo consolidado.
2,3, o efeito da mudança de velocidade rotacional ω1 em SA e ra
Escolha a velocidade rotacional ω1 para 100rpm, 150rpm, 200rpm, outros parâmetros de processamento são os seguintes: =. 075Mpa, e = 70mm, moagem de vidro microcristalino, cada pedaço de tempo de moedura é 10min. Antes e depois de moer com álcool para limpar a superfície, após a secagem respectivamente no meio, no meio e na borda da peça de trabalho 3 locais para tomar 2 pontos de medição para medir a sua SA e ra, o valor médio, o cálculo do desvio padrão, a análise de 3 tipos de vidro de moedura em diferentes locais os resultados de contraste de rugosidade superficial, Pode-se ver: 1 o efeito da velocidade rotacional no valor da aspereza de vidro-cerâmica mostra a distribuição normal, e a velocidade apropriada da rotação é propícia para estabilizar a aspereza da vidro-cerâmica. 2 a posição da borda do vidro grosseiro-granulado após o processamento é obviamente melhor do que aquela do meio e do centro.
2,4, a influência da mudança de excentricidade e em SA, ra
Selecione a distância excêntrica de e 50mm, 70mm, 90mm e outros parâmetros de processamento são os seguintes: =. 075Mpa, ω1 = 150rpm, moagem de vidro microcristalino, cada pedaço de tempo de moedura para o 10min. Antes e depois de moer com álcool para limpar a superfície, secagem, respectivamente, no meio da peça de trabalho, o meio e borda 3 locais tomar 2 pontos de medição para medir a sua SA e ra, tome a média, calcule o desvio padrão, analise os resultados da comparação da aspereza de superfície em posições diferentes de 3 tipos do vidro-cerâmicos a distância excêntrica, pode-se ver que: 1 aumentos da excentricidade, velocidade de moedura aumenta, A exatidão de superfície mais elevada pode ser obtida. 2 a aspereza de superfície da parte marginal é mais baixa do que o meio e o meio.
2,5. análise da influência dos parâmetros de processo na qualidade da superfície
Os resultados da comparação acima mostram que a qualidade de superfície do vidro-cerâmica é melhor do que aquela do método de processamento tradicional. Comparado com os valores SA, ra e PV obtidos a partir de diferentes pressões, velocidade rotacional e distância excêntrica, os principais parâmetros tecnológicos, como pressão, velocidade rotacional e excentricidade são razoavelmente selecionados de acordo com os requisitos de processamento.
III. morfologia da superfície de vidro-cerâmica após a moedura e o processamento
A figura seguinte é a morfologia superficial da cerâmica de vidro depois de ser usinada por um abrasivo consolidado após uma observação de 1500 vezes do microscópio da ferramenta, pode-se ver que a superfície da moedura é quase todos os poços irregulares, mas nenhuns riscos, que significa que o vidro no processo de mmoer a remoção material é principalmente remoção frágil, um pouco do que a remoção plástica, Igualmente mostra que o vidro microcristalino pertence ao material frágil e duro, sua estrutura pertence ao policristalino, assim que é apropriado adotar a maneira da moedura abrasiva da consolidação.
IV. Sumário
MicrocristalinaVidroCom boas propriedades físicas são amplamente utilizados em vários campos, por isso o estudo de vidro microcristalino é de grande importância. Por conseguinte, este documento realizou a investigação do processo das cerâmicas de vidro com o polimento abrasivo de consolidação, e estudou a tecnologia e os parâmetros tecnológicos do vidro-cerâmica pelo método de análise experimental e teórica, a fim de resolver o problema do método de processamento tradicional de materiais refratários [3]. Os resultados do trabalho e da pesquisa deste artigo são resumidos da seguinte forma:
(1) o desenvolvimento de cerâmicas de vidro, composição da estrutura e os resultados da pesquisa de vidro-cerâmica em casa e no exterior são analisados, e a perspectiva e potencial de cerâmica de vidro como um novo tipo de materiais são discutidos.
(2) a tecnologia de transformação e os principais parâmetros tecnológicos das cerâmicas de vidro processadas pela consolidação da polia abrasiva foram estudados por meio de experiências. as conclusões do Instituto de pesquisa são as seguintes: pressão, velocidade rotacional, distância excêntrica são os principais parâmetros de processamento das cerâmicas de vidro processadas pela consolidação abrasiva, e as mudanças desses parâmetros afetarão a qualidade da superfície, e devem ser requisitos de processamento integrados, Requisitos de precisão e requisitos económicos para escolher razoavelmente.