Studio sulla lavorazione delle ceramiche di vetro mediante lucidatura abrasiva con consolidamento
Fanyu
Chinamirrormanufacturer. com
2017-10-12 17:14:28
Vetro-ceramiche è una sorta di buon materiale strutturale, che ha buone proprietà meccaniche e la stabilità chimica ad alta temperatura, suscitando così la grande attenzione delle persone. Negli ultimi anni, con il rapido sviluppo della tecnologia informatica sulla memoria esterna dei computer, come un disco rigido substrato nuovi materiali di vetro-ceramica nello sviluppo del computer è favorito. A causa della cristallizzazione del vetro microcristallino e della struttura e composizione chimica della fase del vetro, la microdurezza è molto alta, il metodo di lavorazione tradizionale è difficile da trattare la superficie liscia di submicron, così la lucidatura meccanica chimica (CMP) diventa l'unica tecnologia efficace per la lavorazione di vetro-ceramica. Di conseguenza, è possibile esplorare il processo di lucidatura della vetro-ceramica usando il rilievo di lucidatura abrasivo di consolidamento, che può fornire una base per lo sviluppo della tecnologia di elaborazione di vetro-ceramica di Ultra Precision.
Metodo di lavorazione del vetro microcristallino
Attualmente, in patria e all'estero, secondo il Micro-cristallo speciale micro-struttura e le caratteristiche di prestazioni, la superficie della sua precisione e ultra-precisione di macinazione processo, in modo da ottenere nano-livello di superficie di qualità e planarità. Lo studio del Han Rongju di Changchun macchina ottica di CAS Mostra che la dimensione del grano di vetro microcristallino è di circa 30 ~ 40nm. Pertanto, per ottenere la rimozione del suo livello di peso atomico, per ottenere la superficie ultra liscia, il nano-livello abrasivi di lucidatura deve essere utilizzato. Gli atomi di superficie di vetro microcristallino sono rimossi dal corpo del pezzo sotto l'effetto delle particelle abrasive. Il processo di rimozione Atom è il processo di collisione, diffusione e riempimento dell'abrasivo e il pezzo in lavorazione a livello atomico. Pertanto, il processo di rettifica e lucidatura è il principale processo di lavorazione del vetro microcristallino in questa fase.
Studio sul processo di smerigliatura e lucidatura di vetro-ceramica mediante consolidamento finitura abrasiva
1. impostazione dell'esperimento di lucidatura
1,1. lucidatura della piattaforma
Test di rettifica e lucidatura in PHL-350-tipo piano di levigatura ad alta velocità, al fine di migliorare la planarità del disco rettificativo, ridurre l'errore di comportamento, di solito nel processo prima della rettifica disco 22 reciproca ricerca, e il righello lama per verificare la planarità della piastra di rettifica per garantire che la qualità superficiale del pezzo lavorato.
1,2, tampone di lucidatura
Il tampone di lucidatura ha le funzioni di stoccaggio del fluido di lucidatura nel processo CMP e di trasporto in tutta la zona di lavorazione del pezzo, mantenendo l'ambiente meccanico e chimico richiesto per la lucidatura, e il trasferimento del materiale per rimuovere il carico meccanico, ecc [1]. Pertanto, è di grande importanza per utilizzare il W14 di diamante idrofilo FAP come lucidatura pad per ottenere l'alta qualità e basso costo di elaborazione CMP.
1,3, liquido di lucidatura
L'utilizzo di acqua deionizzata e di altri additivi chimici come fluidi di lucidatura, il trattamento della lucidatura dei liquami e delle particelle sospese nella tradizionale lucidatura libera abrasiva e il cambiamento del valore del pH causano l'instabilità e la precipitazione di granuli abrasivi, che semplifica il trattamento della lucidatura dei rifiuti nella lucidatura abrasiva tradizionale e presenta le caratteristiche della protezione ambientale verde [2]. La soluzione lucidante utilizzata in questo esperimento è solo acqua deionizzata.
2, pressione p, velocità Ω 1, offset e variazioni della qualità superficiale dell'effetto pezzo
2,1. qualità superficiale
La qualità superficiale del pezzo lavorato è un altro indice importante per valutare le prestazioni di elaborazione FAP, compresa la planarità della rugosità superficiale del pezzo in lavorazione a tre dimensioni, SA, RA e pezzo in lavorazione. La rugosità superficiale tridimensionale SA, RA e la planarità locale PV sono misurati dal sistema Ademicroxam, la gamma di misura è 868 μmx646μm, profondità Sweep è 50Nm, e l'ingrandimento è 5x 2.0.
2,2, l'effetto della pressione p cambia su SA, ra
rispettivamente, la pressione p è 0.05 MPa, 0.075 MPa, 0.1 MPa, gli altri parametri sono i seguenti: ω1 = 150RPM, e = 70mm, rettifica di vetro microcristallino, ogni pezzo di tempo di macinazione è 10min. Prima e dopo la macinazione con alcool per pulire la superficie, dopo l'essiccazione rispettivamente al centro, al centro e al bordo del pezzo in lavorazione 3 posizioni di prendere 2 punti di misura per misurare la sua SA e ra, prendere la media, calcolare la deviazione standard, l'analisi di 3 tipi di pressione di rettifica di vetro-ceramica in diverse posizioni dei risultati di confronto di rugosità superficiale, Può essere visto: 1 cambiamenti di pressione influenzeranno la rugosità della macinazione di vetro-ceramica, troppa pressione non è favorevole al miglioramento della qualità superficiale delle ceramiche di vetro lucido. 2 la posizione del bordo del vetro del Micro-cristallo dopo l'elaborazione è migliore di quella della posizione centrale e centrale e la pressione non dovrebbe essere troppo alta quando le vetro-ceramiche sono procedate dall'abrasivo consolidato.
2,3, l'effetto del cambio di velocità di rotazione ω1 su SA e ra
Scegliere la velocità di rotazione ω1 per 100rpm, 150RPM, 200rpm, altri parametri di elaborazione sono i seguenti: =. 075Mpa, e = 70mm, rettifica di vetro microcristallino, ogni pezzo di tempo di macinazione è 10min. Prima e dopo la macinazione con alcool per pulire la superficie, dopo l'essiccazione rispettivamente al centro, al centro e al bordo del pezzo in lavorazione 3 posizioni per prendere 2 punti di misura per misurare la sua SA e ra, il valore medio, il calcolo della deviazione standard, l'analisi di 3 tipi di smerigliatura in diverse posizioni sotto il contrasto superficiale rugosità risultati, Si può vedere: 1 l'effetto della velocità di rotazione sul valore di rugosità delle ceramiche di vetro Mostra la distribuzione normale, e la corretta velocità di rotazione è propizia per stabilizzare la rugosità delle ceramiche di vetro. 2 la posizione del bordo del vetro grossolano-sgranato dopo l'elaborazione è ovviamente migliore di quella della metà e del centro.
2,4, l'influenza del cambiamento di eccentricità E su SA, ra
Selezionare la distanza eccentrica di e 50mm, 70mm, 90mm, e altri parametri di elaborazione sono i seguenti: =. 075Mpa, ω1 = 150RPM, rettifica di vetro microcristallino, ogni pezzo di tempo di macinazione per i 10min. Prima e dopo la macinazione con alcool per pulire la superficie, asciugando, rispettivamente, al centro del pezzo, il centro e il bordo 3 posizioni prendere 2 punti di misura per misurare la loro SA e ra, prenda la media, calcoli la deviazione standard, analizzi i risultati di confronto di rugosità di superficie alle posizioni differenti di 3 generi di vetro-ceramiche sotto la distanza eccentrica, esso può essere visto che: 1 aumenta l'eccentricità, aumenta la velocità stridente, Maggiore precisione della superficie può essere ottenuta. 2 la rugosità superficiale della parte marginale è inferiore rispetto al medio e medio.
2,5. analisi dell'influenza dei parametri di processo sulla qualità superficiale
I risultati del confronto precedente mostrano che la qualità superficiale delle ceramiche di vetro è migliore di quella del metodo di lavorazione tradizionale. Rispetto ai valori di SA, RA e PV ottenuti da pressioni diverse, velocità di rotazione e distanza eccentrica, i principali parametri tecnologici come la pressione, la velocità di rotazione e l'eccentricità sono ragionevolmente selezionati in base alle esigenze di lavorazione.
III. morfologia superficiale di vetro-ceramica dopo rettifica e lavorazione
La figura che segue è la morfologia superficiale della ceramica vetrosa dopo essere stata lavorata da un abrasivo consolidato dopo un 1500 volte di osservazione del microscopio utensile, si può vedere che la superficie della macinazione è quasi tutti i pozzi irregolari, ma non graffi, il che significa che il vetro nel processo di macinazione della rimozione del materiale è prevalentemente fragile rimozione, piuttosto che la rimozione di plastica, Inoltre mostra che il vetro microcristallino appartiene a materiale fragile e duro, la relativa struttura appartiene a policristallino, in modo da è adatto da adottare il senso di macinazione dell'abrasivo di consolidamento.
IV. Sommario
MicrocristallinaVetroCon buone proprietà fisiche sono ampiamente utilizzati in vari campi, in modo che lo studio del vetro microcristallino è di grande importanza. Di conseguenza, questa carta ha effettuato la ricerca di processo della vetro-ceramica con la lucidatura abrasiva di consolidamento, e ha studiato la tecnologia e i parametri tecnologici del vetro-ceramica con il metodo di analisi sperimentale e teorica, al fine di risolvere il problema del metodo di lavorazione tradizionale dei materiali refrattari [3]. I risultati del lavoro e della ricerca di questa carta sono riassunti come segue:
(1) lo sviluppo di vetro-ceramica, la composizione della struttura ed i risultati di ricerca di vetro-ceramiche nel paese ed all'estero sono analizzati e la prospettiva ed il potenziale di vetro-ceramica come nuovo tipo di materiali sono discussi.
(2) la tecnologia di trasformazione e i principali parametri tecnologici delle ceramiche di vetro elaborate mediante consolidamento della lucidatura abrasiva sono stati studiati mediante sperimentazione. le conclusioni dell'Istituto di ricerca sono le seguenti: pressione, velocità di rotazione, distanza eccentrica sono i principali parametri di lavorazione delle ceramiche di vetro elaborate mediante l'abrasivo di consolidamento, e i cambiamenti di questi parametri influenzeranno la qualità superficiale, e dovrebbero essere requisiti di elaborazione integrati, Requisiti di precisione e requisiti economici per scegliere ragionevolmente.
Metodo di lavorazione del vetro microcristallino
Attualmente, in patria e all'estero, secondo il Micro-cristallo speciale micro-struttura e le caratteristiche di prestazioni, la superficie della sua precisione e ultra-precisione di macinazione processo, in modo da ottenere nano-livello di superficie di qualità e planarità. Lo studio del Han Rongju di Changchun macchina ottica di CAS Mostra che la dimensione del grano di vetro microcristallino è di circa 30 ~ 40nm. Pertanto, per ottenere la rimozione del suo livello di peso atomico, per ottenere la superficie ultra liscia, il nano-livello abrasivi di lucidatura deve essere utilizzato. Gli atomi di superficie di vetro microcristallino sono rimossi dal corpo del pezzo sotto l'effetto delle particelle abrasive. Il processo di rimozione Atom è il processo di collisione, diffusione e riempimento dell'abrasivo e il pezzo in lavorazione a livello atomico. Pertanto, il processo di rettifica e lucidatura è il principale processo di lavorazione del vetro microcristallino in questa fase.
Studio sul processo di smerigliatura e lucidatura di vetro-ceramica mediante consolidamento finitura abrasiva
1. impostazione dell'esperimento di lucidatura
1,1. lucidatura della piattaforma
Test di rettifica e lucidatura in PHL-350-tipo piano di levigatura ad alta velocità, al fine di migliorare la planarità del disco rettificativo, ridurre l'errore di comportamento, di solito nel processo prima della rettifica disco 22 reciproca ricerca, e il righello lama per verificare la planarità della piastra di rettifica per garantire che la qualità superficiale del pezzo lavorato.
1,2, tampone di lucidatura
Il tampone di lucidatura ha le funzioni di stoccaggio del fluido di lucidatura nel processo CMP e di trasporto in tutta la zona di lavorazione del pezzo, mantenendo l'ambiente meccanico e chimico richiesto per la lucidatura, e il trasferimento del materiale per rimuovere il carico meccanico, ecc [1]. Pertanto, è di grande importanza per utilizzare il W14 di diamante idrofilo FAP come lucidatura pad per ottenere l'alta qualità e basso costo di elaborazione CMP.
1,3, liquido di lucidatura
L'utilizzo di acqua deionizzata e di altri additivi chimici come fluidi di lucidatura, il trattamento della lucidatura dei liquami e delle particelle sospese nella tradizionale lucidatura libera abrasiva e il cambiamento del valore del pH causano l'instabilità e la precipitazione di granuli abrasivi, che semplifica il trattamento della lucidatura dei rifiuti nella lucidatura abrasiva tradizionale e presenta le caratteristiche della protezione ambientale verde [2]. La soluzione lucidante utilizzata in questo esperimento è solo acqua deionizzata.
2, pressione p, velocità Ω 1, offset e variazioni della qualità superficiale dell'effetto pezzo
2,1. qualità superficiale
La qualità superficiale del pezzo lavorato è un altro indice importante per valutare le prestazioni di elaborazione FAP, compresa la planarità della rugosità superficiale del pezzo in lavorazione a tre dimensioni, SA, RA e pezzo in lavorazione. La rugosità superficiale tridimensionale SA, RA e la planarità locale PV sono misurati dal sistema Ademicroxam, la gamma di misura è 868 μmx646μm, profondità Sweep è 50Nm, e l'ingrandimento è 5x 2.0.
2,2, l'effetto della pressione p cambia su SA, ra
rispettivamente, la pressione p è 0.05 MPa, 0.075 MPa, 0.1 MPa, gli altri parametri sono i seguenti: ω1 = 150RPM, e = 70mm, rettifica di vetro microcristallino, ogni pezzo di tempo di macinazione è 10min. Prima e dopo la macinazione con alcool per pulire la superficie, dopo l'essiccazione rispettivamente al centro, al centro e al bordo del pezzo in lavorazione 3 posizioni di prendere 2 punti di misura per misurare la sua SA e ra, prendere la media, calcolare la deviazione standard, l'analisi di 3 tipi di pressione di rettifica di vetro-ceramica in diverse posizioni dei risultati di confronto di rugosità superficiale, Può essere visto: 1 cambiamenti di pressione influenzeranno la rugosità della macinazione di vetro-ceramica, troppa pressione non è favorevole al miglioramento della qualità superficiale delle ceramiche di vetro lucido. 2 la posizione del bordo del vetro del Micro-cristallo dopo l'elaborazione è migliore di quella della posizione centrale e centrale e la pressione non dovrebbe essere troppo alta quando le vetro-ceramiche sono procedate dall'abrasivo consolidato.
2,3, l'effetto del cambio di velocità di rotazione ω1 su SA e ra
Scegliere la velocità di rotazione ω1 per 100rpm, 150RPM, 200rpm, altri parametri di elaborazione sono i seguenti: =. 075Mpa, e = 70mm, rettifica di vetro microcristallino, ogni pezzo di tempo di macinazione è 10min. Prima e dopo la macinazione con alcool per pulire la superficie, dopo l'essiccazione rispettivamente al centro, al centro e al bordo del pezzo in lavorazione 3 posizioni per prendere 2 punti di misura per misurare la sua SA e ra, il valore medio, il calcolo della deviazione standard, l'analisi di 3 tipi di smerigliatura in diverse posizioni sotto il contrasto superficiale rugosità risultati, Si può vedere: 1 l'effetto della velocità di rotazione sul valore di rugosità delle ceramiche di vetro Mostra la distribuzione normale, e la corretta velocità di rotazione è propizia per stabilizzare la rugosità delle ceramiche di vetro. 2 la posizione del bordo del vetro grossolano-sgranato dopo l'elaborazione è ovviamente migliore di quella della metà e del centro.
2,4, l'influenza del cambiamento di eccentricità E su SA, ra
Selezionare la distanza eccentrica di e 50mm, 70mm, 90mm, e altri parametri di elaborazione sono i seguenti: =. 075Mpa, ω1 = 150RPM, rettifica di vetro microcristallino, ogni pezzo di tempo di macinazione per i 10min. Prima e dopo la macinazione con alcool per pulire la superficie, asciugando, rispettivamente, al centro del pezzo, il centro e il bordo 3 posizioni prendere 2 punti di misura per misurare la loro SA e ra, prenda la media, calcoli la deviazione standard, analizzi i risultati di confronto di rugosità di superficie alle posizioni differenti di 3 generi di vetro-ceramiche sotto la distanza eccentrica, esso può essere visto che: 1 aumenta l'eccentricità, aumenta la velocità stridente, Maggiore precisione della superficie può essere ottenuta. 2 la rugosità superficiale della parte marginale è inferiore rispetto al medio e medio.
2,5. analisi dell'influenza dei parametri di processo sulla qualità superficiale
I risultati del confronto precedente mostrano che la qualità superficiale delle ceramiche di vetro è migliore di quella del metodo di lavorazione tradizionale. Rispetto ai valori di SA, RA e PV ottenuti da pressioni diverse, velocità di rotazione e distanza eccentrica, i principali parametri tecnologici come la pressione, la velocità di rotazione e l'eccentricità sono ragionevolmente selezionati in base alle esigenze di lavorazione.
III. morfologia superficiale di vetro-ceramica dopo rettifica e lavorazione
La figura che segue è la morfologia superficiale della ceramica vetrosa dopo essere stata lavorata da un abrasivo consolidato dopo un 1500 volte di osservazione del microscopio utensile, si può vedere che la superficie della macinazione è quasi tutti i pozzi irregolari, ma non graffi, il che significa che il vetro nel processo di macinazione della rimozione del materiale è prevalentemente fragile rimozione, piuttosto che la rimozione di plastica, Inoltre mostra che il vetro microcristallino appartiene a materiale fragile e duro, la relativa struttura appartiene a policristallino, in modo da è adatto da adottare il senso di macinazione dell'abrasivo di consolidamento.
IV. Sommario
MicrocristallinaVetroCon buone proprietà fisiche sono ampiamente utilizzati in vari campi, in modo che lo studio del vetro microcristallino è di grande importanza. Di conseguenza, questa carta ha effettuato la ricerca di processo della vetro-ceramica con la lucidatura abrasiva di consolidamento, e ha studiato la tecnologia e i parametri tecnologici del vetro-ceramica con il metodo di analisi sperimentale e teorica, al fine di risolvere il problema del metodo di lavorazione tradizionale dei materiali refrattari [3]. I risultati del lavoro e della ricerca di questa carta sono riassunti come segue:
(1) lo sviluppo di vetro-ceramica, la composizione della struttura ed i risultati di ricerca di vetro-ceramiche nel paese ed all'estero sono analizzati e la prospettiva ed il potenziale di vetro-ceramica come nuovo tipo di materiali sono discussi.
(2) la tecnologia di trasformazione e i principali parametri tecnologici delle ceramiche di vetro elaborate mediante consolidamento della lucidatura abrasiva sono stati studiati mediante sperimentazione. le conclusioni dell'Istituto di ricerca sono le seguenti: pressione, velocità di rotazione, distanza eccentrica sono i principali parametri di lavorazione delle ceramiche di vetro elaborate mediante l'abrasivo di consolidamento, e i cambiamenti di questi parametri influenzeranno la qualità superficiale, e dovrebbero essere requisiti di elaborazione integrati, Requisiti di precisione e requisiti economici per scegliere ragionevolmente.